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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。
3 e. G4 `; P& ]: O& P6 p4 J2 z 应用背景
! _- o; z* N3 K1 y6 X# T OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。 6 }: f! R5 |4 S, [* e* I& L0 e4 k
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图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏 a4 Q/ }2 R: R' J' {1 I9 Z* B
应用测量原理介绍 ; T# W' |/ Z3 r) I2 M: v. M
ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下： - Q0 q* r1 N2 w. [) x) _8 h5 \' ?- @: m% o
透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。
& j4 q7 x" J* I 薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。
: m4 t8 L7 M7 Z4 |! Q0 l( y 微型光纤光谱仪优势 / ~. b. A% u9 B( p6 @9 z7 [# h
微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置 % H% D1 D, B8 w7 O; W
1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下： , |* x; T& s1 m' M: q. h
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. r/ W* v& g$ X+ x 紫外/可见光波段 # T7 _% o% n4 E& U. F7 T1 T( | h
近红外波段
0 M5 U# R$ U. i7 _! B 光谱仪 # Y9 A" U% w6 ^
USB系列, HR系列, QE65000 % _" ^3 L: [ z. H4 _
NIRQUEST ! N7 C/ [6 n6 y9 Q. o/ g
软件
* ~! ~7 {) M/ N, t Oceanview 1.6.3 2 I+ i" g% }* l9 P0 V. E [! n
光源
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光纤 2 u! D" M2 V U( y
UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头 7 [2 \( K- m. v1 b
VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头
- p4 E. m0 u; E9 K 附件 4 d% [; y$ z C
74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T H: \, ~+ u" c, F
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( x: U) I/ ^- o2 T 图2. 薄膜透过率测量系统配置 9 O) ?* Y( Z6 F4 f# |
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图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率
' M4 f; y; W7 E% S( C% b1 z 2. ITO薄膜膜厚检测
5 t* l1 w1 I$ P3 [5 {9 o- p2 | 海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下： + G% R6 ^; x- [
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图4. 薄膜厚度测量系统配置
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+ s( u6 U& A9 E: L 图5. NanoCalc膜厚仪系统参数
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5 O: c' f F2 {9 X$ q5 h4 j" @; ` 图6. 薄膜材料厚度测量结果举例 ; t8 W2 {% P* H6 |
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