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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。
2 B; |1 C2 g8 M5 T 应用背景 $ H' ?5 x" J. c' s. x; ~4 u: B
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。
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图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏 8 k' q! i4 `, e8 ^1 ? H4 l `
应用测量原理介绍
% A% N, l9 K6 j% O. [+ G ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下：
- j1 y7 r" M L- \ 透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。 ( {. [1 T, |/ ^
薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。 6 K! ?- ?) N3 l1 _7 z3 b) O) i* a/ z% a
微型光纤光谱仪优势 : u6 m1 c2 i3 z% R
微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置
: Z/ `6 q6 {* F+ | 1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下： - d5 o6 S1 J. H9 M
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紫外/可见光波段
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) s# Y. ~8 O3 W. s' v1 z" y 光谱仪 8 y+ ~1 I9 F5 V& p0 ^
USB系列, HR系列, QE65000 ( D c% z9 y) B$ G8 [. X( b
NIRQUEST ' Q9 P. O+ k5 y* h
软件 ( A/ z$ G. s0 D# A
Oceanview 1.6.3
% J4 { g# c8 N; @( t1 M 光源 5 n! B! s2 n$ t
DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS
5 g% \" m7 `5 u! I7 B- T ]. d 光纤
2 \# s6 ?. ^; G! ~. v UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头
# Q% Z9 o9 P3 B4 k VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头
6 C1 b$ z; h: T 附件
3 a" \' k3 b' h 74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T 8 H/ ^7 f# ]& U. h8 y
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图2. 薄膜透过率测量系统配置
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& T* Z, _$ F9 u' d7 j6 ] 图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率
7 |# E% a( _" b! U9 x1 j6 f! d7 c y 2. ITO薄膜膜厚检测
8 X5 W+ m4 m9 C4 e* U 海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下： , v" s2 B* Z5 S6 g( ?
8 A. r! G, s# z6 Z: V 图4. 薄膜厚度测量系统配置 ) S+ k$ ^" L6 T, r5 c
. f0 A+ s. Q& C' N; [ 图5. NanoCalc膜厚仪系统参数
7 c$ M$ l3 Z4 g, p) \: L 7 I' }7 o4 ^7 @6 o L1 w6 x
图6. 薄膜材料厚度测量结果举例 ; m. H3 R) }. E9 u2 R
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