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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。
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OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。
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图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏
- a' C, Y) K d+ U' q 应用测量原理介绍
* U h0 s- L2 m+ k! U ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下： 3 E" @ v0 b& u {, z; q
透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。
0 J, C+ r) N" S4 r, I- { 薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。
- f" u S. u s( ~; g 微型光纤光谱仪优势 ; R, ?! z8 ?+ Y. X' V8 n, S) q1 |2 X
微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置 - L4 e5 l) @6 @- g
1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下：
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近红外波段 0 T+ d* p" M+ W& ?0 I
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DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS
1 W" n: C% T" v F6 C9 M, g 光纤
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VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头
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图2. 薄膜透过率测量系统配置
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Z$ Q# X. u! _, C" ]/ [: A s 图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率
( E# V4 Y: l9 h5 J 2. ITO薄膜膜厚检测
6 l* x2 k# M3 `$ m, f) a+ y$ _' u 海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下： ; v: y- {9 V# O8 H
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图4. 薄膜厚度测量系统配置 ' _# O* }+ Q' F5 P( m5 e. U: S7 ?
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图5. NanoCalc膜厚仪系统参数 0 B7 y6 i. L+ l' O
( G8 p0 y7 u0 p f" B# s& f' a 图6. 薄膜材料厚度测量结果举例 $ r* V1 k& u) @0 O8 ~) S
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