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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。
9 ?6 U+ T$ A" P5 u8 N1 z2 j 应用背景 : l/ l5 J/ |3 @& o9 d ?, }0 X
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。 ( I7 x- M" Y3 ?- U: E
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图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏 J, p j$ b: u2 a" T j
应用测量原理介绍
$ ]& l/ p- z3 o- ^ X ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下：
# x' A# Q9 j# Y7 A% U 透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。 , ^+ q) U9 y" c# G9 m
薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。
- U# E1 @$ ?- h: F$ @ 微型光纤光谱仪优势 7 W; K' r0 U( X! `
微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置
$ w& A3 G& k& M. z 1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下：
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紫外/可见光波段 1 k/ O% _% ~& [# P& h2 ` ]
近红外波段 ) X/ @& T6 \, v$ ?/ U$ o+ c
光谱仪
4 j* o$ c$ f, r& u USB系列, HR系列, QE65000
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软件 5 n7 Z$ d' C: ^3 k
Oceanview 1.6.3
- o; D$ Q0 F* ~: J 光源 + q9 }0 v0 R0 x
DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS & @3 Q4 p& g' m8 }& V5 {" J
光纤 / F, D9 Q+ D# R: L
UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头
1 e& t L% j2 i& ]8 O VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头 ( h( w( H( V7 ~
附件 & ]3 Z/ L \- ~
74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T
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图2. 薄膜透过率测量系统配置
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% Z% u+ x. L7 }( x 图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率
% k" F$ p5 _ V# @ i 2. ITO薄膜膜厚检测
0 z! L; f6 m3 u( b- H3 N 海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下： - y, n8 P- `# ]* G
$ a; k6 k9 G( X4 W! p 图4. 薄膜厚度测量系统配置
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图5. NanoCalc膜厚仪系统参数 / A4 Y( {" g- u: I# z1 e- a
( H! b0 R5 t m' N% } 图6. 薄膜材料厚度测量结果举例 9 t! E( }4 z$ O7 L4 n- [' B
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